在半導體晶圓研磨制程中，研磨液（漿料）的穩定輸送直接影響晶圓的平坦度與表面質量。更關鍵的是，晶圓研磨液通常含有異丙醇、丙二醇等易燃溶劑，一旦泄漏，不僅導致昂貴漿料浪費、晶圓批次報廢，更可能引發火災事故。保定思諾流體科技有限公司將防爆設計與漏液報警技術深度融合，為半導體晶圓研磨提供“防爆+防漏”的安全輸送方案。
一、半導體研磨的特殊挑戰
晶圓研磨對流體輸送提出極高要求：
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易燃介質：研磨液中的異丙醇等成分揮發后遇火源可能爆燃
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高價值漿料：單批次研磨液成本數千至上萬元，泄漏直接造成經濟損失
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良率敏感：研磨液泄漏可能導致晶圓表面污染，整批次良率下降
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連續作業：晶圓研磨需24小時不間斷運行，對設備可靠性要求苛刻
二、防爆設計：潔凈室的安全準入證
思諾防爆蠕動泵嚴格遵循GB/T 3836標準，防爆等級Ex d IIB T4 Gb，防護等級IP66，適用于存在易燃氣體環境的半導體產線。泵體采用鑄鋁殼體，整機無死角設計，易于清潔，滿足潔凈室使用規范。
三、漏液報警：微滲即知，止損于萌芽
思諾防爆蠕動泵集成高靈敏度漏液傳感器，采用電容感應技術，可感知低至0.1ml的微量泄漏，響應時間≤0.1秒。一旦檢測到研磨液滲漏，系統立即發出聲音報警并自動停機。
配合軟管計時功能，用戶可自定義軟管使用時長（如200-300小時），到期自動提醒更換，從源頭杜絕軟管破裂風險。
四、應用價值
| 痛點 | 思諾解決方案 | 價值 |
|---|---|---|
| 易燃研磨液泄漏可能引發火災 | 防爆設計+漏液報警 | 消除安全隱患 |
| 微量滲漏肉眼難察 | 漏液傳感器0.1ml感知 | 避免晶圓污染 |
| 軟管突發破裂 | 軟管計時主動提醒 | 從源頭杜絕風險 |
| 潔凈室清潔要求 | 無死角設計+易清潔 | 滿足半導體規范 |
五、技術底氣
作為國內率先布局雙傳感器系列化蠕動泵的企業，思諾流體已獲得專利授權42項及軟件著作權13項，產品通過CE、RoHS、ISO9001認證。
思諾流體·一馬當先·率先布局
★雙傳感器防護蠕動泵的先行者！
★雙傳感器防護蠕動泵系列化的開拓者！
選擇思諾防爆漏液報警蠕動泵，為您的晶圓研磨制程守住安全與良率的雙重底線。
冀公網安備 13060202001139號